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    特气集中供气系统

    特气管道系统 Special Gas Pipeline System 是指SiH4,NF3,Cl2 等一些具有高危险性,应确保安全性的特气。公司提供从供气系统;排气处理、监视系统的综合管理系统;建立以安全为第一的特气管理输送系统。提供设计、选型、制造、安装、测试、调试和系统托管服务等整体解决方案。
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